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安立計(jì)器

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抗蝕劑設(shè)備加熱臺(tái)的溫度檢測

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抗蝕劑設(shè)備等半導(dǎo)體制造工藝中,平臺(tái)的表面溫度測量非常重要。
使用安立計(jì)器的「溫度記錄儀 AM-9000系列」「自重型表面溫度傳感器 WE系列」可簡單的將傳感器放置于測量點(diǎn)上,并同時(shí)測量記錄多個(gè)點(diǎn)的溫度分布。并且可在電腦上確認(rèn)圖表,進(jìn)行解析。

手持式溫度記錄儀 AM-9000系列

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AM-9000K
(-200~1370℃)
AM-9000 系列產(chǎn)品是簡便型溫度記錄儀。
可以記憶儲(chǔ)存數(shù)據(jù)于主機(jī)。
?使用USB數(shù)據(jù)線傳送數(shù)據(jù)到電腦
?可利用準(zhǔn)用軟件「AMS-950」(另售)進(jìn)行數(shù)據(jù)解析。

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專用解析軟件AMS-950(英文版)另售。
?記錄數(shù)據(jù)可轉(zhuǎn)送至電腦制圖和制表。
?記錄的數(shù)據(jù)可轉(zhuǎn)換成CSV文檔,可利用Excel等自由編輯數(shù)據(jù)。
?也可轉(zhuǎn)換成XPS文檔,以防止數(shù)據(jù)被串改。

自重型表面溫度傳感器 WE系列

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WE-33K-TA1-ANP
溫度范圍:-50~200℃

WE系列產(chǎn)品頭部內(nèi)藏砝碼、只需放置于被測物表面即可測量溫度。頭部大小?材質(zhì)等可自由選擇,可以根據(jù)客戶的用途進(jìn)行選配。

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