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日本ORC紫外線照度計(jì) UV照度計(jì) 光量計(jì) UV-M03A
日期:2023-05-29 人氣:746 收藏

紫外照度計(jì)/照度計(jì)UV-M03A

緊湊、輕便、便攜的測(cè)量?jī)x器。它適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)配備 UV 燈的設(shè)備。請(qǐng)用它來(lái)控制紫外線燈的紫外線照射量(照度/光強(qiáng)度)。


◆ 特點(diǎn)


可以輕松管理曝光設(shè)備的照度和光量,是一款小巧輕便的便攜型。
可以輕松測(cè)量紫外線照度和光強(qiáng)度。
根據(jù)您正在使用(或您計(jì)劃使用)的光源和抗蝕劑的靈敏度,選擇 UV-25、35 或 42 的接收器。但UV-SN25、UV-SN35、UV-SN42用于電子線路(印刷)板制造工藝,UV-SD25、UV用于半導(dǎo)體、液晶基板制造工藝-推薦選擇 SD35、UV-SD42
測(cè)量數(shù)據(jù)可以通過(guò) RS-232C 通信輸出傳輸。
它還具有模擬輸出。


◆ 關(guān)于SD型和SN型


 SN型已被長(zhǎng)期使用我們的曝光和輻照設(shè)備的客戶廣泛使用,確保了過(guò)程管理的連續(xù)性。
 SD 型推薦給在半導(dǎo)體和液晶基板制造過(guò)程中已經(jīng)使用其他公司制造的照度計(jì)的客戶,以及重視確保與這些測(cè)量?jī)x器(我們的曝光設(shè)備)的數(shù)據(jù)兼容性的客戶。但是,SD 型適用于投射式曝光裝置和液晶基板用周邊曝光裝置),推薦給剛開始使用照度計(jì)的客戶。


◆ 關(guān)于SD型和SN型的指示值


 對(duì)于SN型,SD型的指示值用于確保與舊過(guò)程數(shù)據(jù)的兼容性(在與我們測(cè)量組用作校準(zhǔn)輻射源的高壓紫外燈的365nm發(fā)射線相同的測(cè)量條件下測(cè)量.照度 調(diào)整為顯示時(shí)比


◆ 與其他公司生產(chǎn)的照度計(jì)的數(shù)據(jù)兼容性


 與可見光照度計(jì)(以 LUX 為單位測(cè)量家庭、辦公室、商店、博物館等亮度的照度計(jì))不同,適用于所有紫外線照度計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)尚未建立(似乎 JIS 轉(zhuǎn)換工作正在為有限的用途而完成)。
 即使各公司的相對(duì)光譜靈敏度是為了測(cè)量主要由 365 nm 發(fā)射線組成的光源的照度而制作的,測(cè)量峰值波長(zhǎng)(其相對(duì)光譜靈敏度特性由 1 表示的波長(zhǎng)),短波長(zhǎng)側(cè)(300nm~310nm左右)和長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)(380nm~400nm左右)前后的上升和下降波長(zhǎng)和曲線略有不同。
 在設(shè)計(jì)方面也做出了努力,使接收器的受光角特性,稱為COSθ特性,更接近理想曲線,但現(xiàn)實(shí)是沒有實(shí)現(xiàn)。


◆ 規(guī)格


接收器(可更換)UV-SD35 (UV-SN35)
測(cè)量波長(zhǎng)范圍310-385nm
測(cè)量照度范圍0.001 至 50mW/ cm2
測(cè)量光強(qiáng)范圍0.001 至 19999 mJ/ cm2
對(duì)準(zhǔn)精度在我們的紫外線標(biāo)準(zhǔn)的 ±1.5% 以內(nèi)
重復(fù)性±1.5%以內(nèi)


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